高精度程控匀胶机 旋涂仪

【6英寸】 SYSC-150高精度程控匀胶机  旋涂仪  Spin Coater

一.   产品应用

SYSC-150系列高精度程控匀胶机 旋涂仪（Spin Coater），其高转速可达12000rpm，较大旋转加速度可达60000rpm/s（有负载条件下的真实加速度）。具有速度精度高、转速稳定、极好的加速度、主动式速度调控、匀胶过程多段程序控制等特点。可用于微电子、半导体、光电器件、新能源、生物材料、光学器件等领域的各类高精密纳米功能涂层的制备。

二.   高精度程控匀胶机 旋涂仪产品特点

1.     旋转电机采用专为匀胶机设计的精密高速伺服电机，具有高精度、高稳定性、高可靠性。

2.     优异的旋转加速性能，较大旋转加速度可达60000rpm/s（有负载的真实加速度）。

3.     两项安 全互锁功能：

 (1) 匀胶腔体具有开启、关闭的检测功能，确保腔体关闭后才可启动，防止匀胶过程中飞片造成身体伤害；

 (2) 真空吸片具有真空检测功能，若发生真空泄漏，基片无法吸附牢固，则立即停止运行。

4.     机身外壳采用SUS304不锈钢制作，防腐蚀、不生锈、易清洁。

5.     匀胶腔体采用德国劳士领NPP材料，经CNC一体加工成型。接储脱离基片的胶液，避免进入真空管路和设备内部。耐腐蚀、易清洁。

6.     旋转吸片台采用德国劳士领PEEK材料，经CNC一体加工成型。耐高温、耐腐蚀、不变形。

7.     匀胶过程全自动分段程序控制。整个匀胶过程多可分十段进行，每段的加速时间、旋转速度、匀胶时间均可精密控制、连续可调。可储存50组工艺程序，随时调用。

8.     7英寸液晶触摸屏使控制更方便；运行状态及各项参数实时显示，更直观了解匀胶进程；

9.     真空泵的开启与关闭均为自动程序控制，无需手动操作。

10.   旋转前增加预吸片步骤，“预吸片时间”为99s，确保基片牢固吸附于旋转台后再进行旋转涂膜。匀胶完成后增加解吸片步骤，“解吸片时间”为99s，确保安 全停止后再切断真空，释放基片，防止涂膜后的基片滑落，对膜层造成损伤。

11.   标配无油真空泵，低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台，防止飞片。

三.   高精度程控匀胶机 旋涂仪技术参数

* 较大旋涂加速度为有负载条件下(使用≤Ø80mm基片)的真实加速度

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